| 发明名称 |
DEVICE AND METHOD FOR CHEMICAL VAPOR DEPOSITION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02239185(A) |
申请公布日期 |
1990.09.21 |
| 申请号 |
JP19890056495 |
申请日期 |
1989.03.10 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
MIYAUCHI AKIHIRO;INOUE HIRONORI;MOCHIZUKI YASUHIRO;KONISHI NOBUTAKE |
| 分类号 |
C30B25/14;C30B25/18;H01L21/205 |
主分类号 |
C30B25/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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