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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02239647(A) 申请公布日期 1990.09.21
申请号 JP19890061558 申请日期 1989.03.14
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 YOSHIDA MASAYUKI
分类号 H01L23/522;H01L21/768 主分类号 H01L23/522
代理机构 代理人
主权项
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