发明名称 SULFURIC ACID COMPOSITION HAVING LOW SURFACE TENSION
摘要 On ajoute un agent tensio-actif selon la formule générale: R1SO2NR2C2H4OA, (où R1 représente un groupe fluoroalkyle, R2 représente H ou un groupe alkyle inférieur, et A représente H ou SO3H) à un liquide détergent comprenant de l'acide sulfurique ou de l'acide sulfurique/peroxyde d'hydrogène, utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs ou similaire, pour réduire la tension superficielle, ce qui permet d'améliorer l'aptitude au mouillage et l'effet détergent.
申请公布号 WO9010730(A1) 申请公布日期 1990.09.20
申请号 WO1990JP00345 申请日期 1990.03.15
申请人 HARA, MISAKO +HM;HARA, ERIKO +HM;NISSAN CHEMICAL INDUSTRIES, LTD.;KANTO KAGAKU KABUSHIKI KAISHA 发明人 MORI, KIYOTO;SHIHOYA, TAKAO;HARA, HISAO +DI
分类号 C09K13/08;C09D9/00;C11D1/00;C23F1/16;C23G1/02;H01L21/304;H01L21/306 主分类号 C09K13/08
代理机构 代理人
主权项
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