发明名称 WASHING METHOD AND APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH07328573(A) 申请公布日期 1995.12.19
申请号 JP19940151637 申请日期 1994.06.09
申请人 SUPIIDE FUAMU CLEAN SYST KK 发明人 SUGAI JUNICHI
分类号 B08B3/12;H01L21/304;(IPC1-7):B08B3/12 主分类号 B08B3/12
代理机构 代理人
主权项
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