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经营范围
发明名称
WASHING METHOD AND APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH07328573(A)
申请公布日期
1995.12.19
申请号
JP19940151637
申请日期
1994.06.09
申请人
SUPIIDE FUAMU CLEAN SYST KK
发明人
SUGAI JUNICHI
分类号
B08B3/12;H01L21/304;(IPC1-7):B08B3/12
主分类号
B08B3/12
代理机构
代理人
主权项
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