| 发明名称 |
BAKING-OUT METHOD FOR ULTRAHIGH VACUUM DEVICE AND ULTRAHIGH VACUUM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02237633(A) |
申请公布日期 |
1990.09.20 |
| 申请号 |
JP19890058252 |
申请日期 |
1989.03.10 |
| 申请人 |
SUMITOMO ELECTRIC IND LTD |
发明人 |
OKADA HIROSHI |
| 分类号 |
B01J3/00;C30B23/08;H01L21/203 |
主分类号 |
B01J3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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