ACOUSTIC MICROSCOPE SURFACE INSPECTION SYSTEM AND METHOD

摘要

L'invention concerne un système d'inspection acoustique de surfaces de microscopes comportant un générateur de signaux (31) produisant un signal de haute fréquence. Un processeur de signaux (32, 33, 36, 37, 38, 39, 42, 43) reçoit le signal de haute fréquence et forme des premier et second signaux de haute fréquence ayant une relation en phase échelonnée. Une porte (47) reçoit un des dix signaux et forme des impulsions de la fréquence et de la phase du même signal. Un transducteur acoustique reçoit les impulsions de signaux à partir desquels il forme des impulsions acoustiques. Ledit transducteur oriente les impulsions vers la surface et reçoit des impulsions acoustiques réfléchies à partir de la surface produisant les impulsions de sortie correspondantes. Un second processeur des signaux (48, 49, 51) reçoit les impulsions de sortie ainsi que l'autre signal de fréquence élevé, et produit une sortie représentative de l'amplitude et de la phase des impulsions de sortie.