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发明名称 MAGNETRON SPUTTERING VAPOR DEPOSITION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02236275(A) 申请公布日期 1990.09.19
申请号 JP19890055412 申请日期 1989.03.08
申请人 FUJITSU LTD 发明人 MIHARA MOTONOBU;TSUTSUMI MASAMI;NAITO KAZUNORI;NUMATA TAKEHIKO;NAKAJIMA HIDEKAZU
分类号 C23C14/35 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
主权项
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