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<p>Bei der Dosierung einer dampfförmigen Substanz in einen Reaktor (7) wird ein Trägergas in einem Sättiger (1), der auf einer konstanten Temperatur gehalten wird, mit der zu dosierenden Substanz (4) gesättigt. Das entstandene Gasgemisch wird durch eine beheizte Kapillare (5) zu dem Reaktor (7) geleitet. Eine genaue Dosierung von wenig flüchtigen und/oder chemisch aggressiven Substanzen wird dadurch ermöglicht, daß die Kapillare (5) auf einer Temperatur gehalten wird, die gleich der Temperatur im Sättiger (1) oder höher als die Temperatur im Sättiger (1) ist, und daß der Druck im Sättiger (1) konstant und höher als der Druck im Reaktor (7) gehalten wird.</p> |
