BASE-SOLUBLE ULTRAVIOLET PHOTORESISTS HAVING STYRENE MALEIMIDE RESINS,申请号EP19870117583-传众专利搜索

发明名称	BASE-SOLUBLE ULTRAVIOLET PHOTORESISTS HAVING STYRENE MALEIMIDE RESINS
摘要
申请公布号	EP0272498(A3)	申请公布日期	1990.09.19
申请号	EP19870117583	申请日期	1987.11.27
申请人	INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION	发明人	BRUNSVOLD, WILLIAM ROSS;MCDONNELL BUSHNELL, LORRAINE P.;CHOW, MING-FEAR;LYONS, CHRISTOPHER FRANCIS
分类号	G03F7/012;(IPC1-7):G03F7/08	主分类号	G03F7/012
代理机构		代理人
主权项
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