Position-measuring installation.

摘要

Bei einer Positionsmeßeinrichtung gemäß Figur 2 wird ein Strahlenbündel an einem ersten Beugungsgitter (202) gebeugt. Die Teilstrahlenbündel (-&phis;, 0. und +&phis;) trefen auf ein zweites Beugungsgitter (203), das mit einem Tripelprisma (206) so abgestimmt ist, daß sich die Teilstrahlenbündel (-&phis;, 0. und +&phis;) in einem einzigen Punkt schneiden und wieder austreten. Beim anschließenden Durchtritt durch die Beugungsgitter (203 und 202) werden die Teilstrahlen jeweils nochmals gebeugt um dann zu interferieren. Die interferierenden Teilstrahlenbündel treffen auf eine Detektoreinrichtung (207), von der sie in zueinander phasenverschobene Meßsignale umgewandelt werden.