| 发明名称 |
APPARATUS AND METHOD FOR INSPECTING DEFECT OF MOUNTED COMPONENT WITH SLIT LIGHT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0312046(A3) |
申请公布日期 |
1990.09.19 |
| 申请号 |
EP19880117015 |
申请日期 |
1988.10.13 |
| 申请人 |
HITACHI, LTD. |
发明人 |
TAKAGI, YUJI 211 HACHIMANYAMA-APARTMENT;KATSUTA, DAISUKE;HATA, SEIJI |
| 分类号 |
G01R31/28;G01R31/308;G01R31/309;H01L21/68;H05K13/08;(IPC1-7):G01N21/88;G01B11/02;G06F15/70 |
主分类号 |
G01R31/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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