| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR DETECTING OF SCANNING SECONDARY CHARGED PARTICLE IMAGE; METHOD AND APPARATUS FOR CORRECTION OF WIRING PART OF IC DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02237132(A) |
申请公布日期 |
1990.09.19 |
| 申请号 |
JP19890056411 |
申请日期 |
1989.03.10 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
ITO FUMIKAZU;SHIMASE AKIRA;HARAICHI SATOSHI;TAKAHASHI TAKAHIKO |
| 分类号 |
G01R31/302;H01L21/027;H01L21/3205;H01L21/66;H01L21/82;H01L23/52 |
主分类号 |
G01R31/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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