Position measuring device.

摘要

Bei einer Eingitter-Meßvorrichtung (M) besteht die Meßteilung aus einem Phasengitter (2). Zwei kohärente Teilstrahlenbündel (A und B) werden von einer Beleuchtungseinrichtung (1) auf das Phasengitter (2) gerichtet, wo sie sich vereinigen, gebeugt werden und nach dem Gitterdurchtritt miteinander interferieren. Die interferierenden Teilstrahlenbündel sind den Charakteristika des Phasengitters (2) entsprechend zueinander phasenverschoben und werden von einer Detektoreinrichtung (U3) in zueinander phasenverschobene Meßsignale umgewandelt.