发明名称 DISPLACEMENT CONVERTER AND PLATE SHAPE FLEXIBLE STRUCTURE OSCILLATION SUPPRESSING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02236606(A) 申请公布日期 1990.09.19
申请号 JP19890057608 申请日期 1989.03.09
申请人 HITACHI LTD 发明人 YOSHIDA KAZUJI;KAWACHI MASATAKA
分类号 H01L31/08;G05D3/00 主分类号 H01L31/08
代理机构 代理人
主权项
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