发明名称 FORMATION OF METAL OXIDE FILM
摘要
申请公布号 JPH02236284(A) 申请公布日期 1990.09.19
申请号 JP19890056731 申请日期 1989.03.09
申请人 CATALYSTS & CHEM IND CO LTD 发明人 KOMATSU MICHIO;NAKAJIMA AKIRA
分类号 C23C18/12 主分类号 C23C18/12
代理机构 代理人
主权项
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