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发明名称
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申请公布号 JP2577493(B2) 申请公布日期 1997.01.29
申请号 JP19900194254 申请日期 1990.07.23
申请人 HOYA CORP 发明人 SAGARA HIROHARU;MAKINO JUN
分类号 C03C3/085;C03C3/083;G01L9/00;G01L9/04;H01L29/84;(IPC1-7):C03C3/083 主分类号 C03C3/085
代理机构 代理人
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