发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH02235347(A) 申请公布日期 1990.09.18
申请号 JP19890056641 申请日期 1989.03.08
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 KIMURA TATSUYA
分类号 H01L29/812;H01L21/338;H01L29/778 主分类号 H01L29/812
代理机构 代理人
主权项
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