| 发明名称 |
WERKWIJZE EN TOESTEL VOOR HET AANBRENGEN VAN EPITAXIAAL SILICIUM EN SILICIDES. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
NL8900469(A) |
申请公布日期 |
1990.09.17 |
| 申请号 |
NL19890000469 |
申请日期 |
1989.02.24 |
| 申请人 |
INTERUNIVERSITAIR MICRO-ELEKTRONICA CENTRUM, VZW TE LEUVEN-HEVERLEE, BELGIE. |
发明人 |
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| 分类号 |
C30B29/06;C23C16/44;C30B25/02;C30B29/10 |
主分类号 |
C30B29/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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