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发明名称 PULLING DEVICE OF SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH02233582(A) 申请公布日期 1990.09.17
申请号 JP19890055873 申请日期 1989.03.08
申请人 OSAKA TITANIUM CO LTD;KYUSHU ELECTRON METAL CO LTD 发明人 KAJIMOTO TSUTOMU;AKASHI YOSHIHIRO
分类号 C30B15/12;C30B29/06;H01L21/208 主分类号 C30B15/12
代理机构 代理人
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