| 发明名称 |
FORMATION OF PROTECTIVE FILM OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH02234445(A) |
申请公布日期 |
1990.09.17 |
| 申请号 |
JP19890053651 |
申请日期 |
1989.03.08 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRON CORP |
发明人 |
AKAI TAKAYUKI;NAGURA HIDEAKI;KISHIMOTO MITSUO |
| 分类号 |
H01L21/56;H01L23/29;H01L23/31 |
主分类号 |
H01L21/56 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
