发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02234430(A) 申请公布日期 1990.09.17
申请号 JP19890055494 申请日期 1989.03.08
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 FUJII ATSUHIRO
分类号 H01L21/318;H01L21/31 主分类号 H01L21/318
代理机构 代理人
主权项
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