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发明名称 SPIN COATING METHOD
摘要
申请公布号 JPH02234417(A) 申请公布日期 1990.09.17
申请号 JP19890053675 申请日期 1989.03.08
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KAWAMURA EIICHI
分类号 B05D1/40;H01L21/027 主分类号 B05D1/40
代理机构 代理人
主权项
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