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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02234420(A) 申请公布日期 1990.09.17
申请号 JP19890055403 申请日期 1989.03.08
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SUGITA YOSHIHIRO;NARA YASUO
分类号 H01L21/205;H01L21/263;H01L21/285 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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