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发明名称 EPITAXIAL GROWTH DEVICE OF MOLECULAR BEAM
摘要
申请公布号 JPH02233586(A) 申请公布日期 1990.09.17
申请号 JP19890053100 申请日期 1989.03.06
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 MUTO KATSUHIKO
分类号 C30B23/08;H01L21/203 主分类号 C30B23/08
代理机构 代理人
主权项
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