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发明名称
摘要
申请公布号	JPH02115564(U)	申请公布日期	1990.09.17
申请号	JP19890023862U	申请日期	1989.03.03
申请人		发明人
分类号	C23C16/44;C23C16/455;C23C16/50;(IPC1-7):C23C16/44	主分类号	C23C16/44
代理机构		代理人
主权项
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