发明名称 CRYSTAL GROWTH DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02233579(A) 申请公布日期 1990.09.17
申请号 JP19890055306 申请日期 1989.03.07
申请人 NEC CORP 发明人 KAKIMOTO KOICHI
分类号 C30B15/00;H01L21/208 主分类号 C30B15/00
代理机构 代理人
主权项
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