发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR AUTOMATED OPTICAL INSPECTION OF PRINTED CIRCUITS
摘要
申请公布号 IL78943(A) 申请公布日期 1990.09.17
申请号 IL19860078943 申请日期 1986.05.27
申请人 IBM ISRAEL LTD. 发明人
分类号 H01L21/66;G01N21/88;G01N21/956;G01R31/28;G01R31/309;G06T1/00;G06T7/00;H05K3/00;(IPC1-7):G01N21/88;G06F15/70;G06K9/00 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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