发明名称 |
PRODUCTION OF SI CRYSTAL THIN FILM AND DEVICE USED THEREFOR |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH02233594(A) |
申请公布日期 |
1990.09.17 |
申请号 |
JP19890056646 |
申请日期 |
1989.03.08 |
申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
ECCHU MASAO;TANAKA HITOSHI;AKIYAMA MINORU;KOMORI HIDEKI;UMADONO SHINJI;TOMOTA TOSHIMASA |
分类号 |
C30B25/14;C30B29/06;H01L21/205 |
主分类号 |
C30B25/14 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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