发明名称 MANUFACTURE OF COMPOUND SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH02232936(A) 申请公布日期 1990.09.14
申请号 JP19890053501 申请日期 1989.03.06
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 WAHO TAKAO;YANAGAWA FUMIHIKO;MARUO YOKO
分类号 H01L29/812;H01L21/314;H01L21/316;H01L21/338;H01L29/78 主分类号 H01L29/812
代理机构 代理人
主权项
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