发明名称 ELECTRON BEAM EXPOSURE DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02232919(A) 申请公布日期 1990.09.14
申请号 JP19890054154 申请日期 1989.03.07
申请人 FUJITSU LTD 发明人 YASUTAKE NOBUYUKI
分类号 H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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