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发明名称
VACUUM ARC VAPOR DEPOSITION METHOD
摘要
申请公布号
JPH02232364(A)
申请公布日期
1990.09.14
申请号
JP19890051747
申请日期
1989.03.02
申请人
KOBE STEEL LTD
发明人
AKARI KOUICHIROU;TAMAGAKI HIROSHI
分类号
C23C14/32
主分类号
C23C14/32
代理机构
代理人
主权项
地址
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