| 发明名称 |
SAMPLE TESTING METHOD FOR PARTICLE BEAM APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02230649(A) |
申请公布日期 |
1990.09.13 |
| 申请号 |
JP19900013438 |
申请日期 |
1990.01.22 |
| 申请人 |
SIEMENS AG |
发明人 |
MACHIASU BURUNNAA;BURUKUHARUTO RISHIYUKE |
| 分类号 |
H01J37/147;G01R31/302;H01J37/244;H01J37/256;H01J37/28;H01J37/30;H01L21/66 |
主分类号 |
H01J37/147 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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