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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02230746(A) 申请公布日期 1990.09.13
申请号 JP19890049820 申请日期 1989.03.03
申请人 HITACHI LTD 发明人 HIRUMA TAKEYUKI;HAGA TORU;FUJISAKI YOSHIHISA
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L21/338;H01L29/205;H01L29/737;H01L29/812;H01S5/00 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
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