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经营范围
发明名称
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH02230741(A)
申请公布日期
1990.09.13
申请号
JP19890050038
申请日期
1989.03.03
申请人
FUJITSU LTD
发明人
HASEGAWA HITOSHI;NAWATA TAKAHARU;KANEDA HIROSHI;SUZUKI UDE;SHIRAKAWA YOSHIMI
分类号
H01L21/60;H01L21/321
主分类号
H01L21/60
代理机构
代理人
主权项
地址
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