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发明名称 EVAPORATION SOURCE
摘要
申请公布号 JPH02230645(A) 申请公布日期 1990.09.13
申请号 JP19890050579 申请日期 1989.03.02
申请人 NISSIN ELECTRIC CO LTD 发明人 MATSUNAGA KOJI
分类号 C23C14/22;C23C14/24;H01J27/02;H01J37/08;H01J37/317 主分类号 C23C14/22
代理机构 代理人
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