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发明名称 MANUFACTURING APPARATUS OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02231709(A) 申请公布日期 1990.09.13
申请号 JP19890052555 申请日期 1989.03.03
申请人 FUJITSU LTD 发明人 OYAMA YASUSHI
分类号 H01L21/302;H01L21/205;H01L21/3065;H01L21/31 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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