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经营范围
发明名称
SUPATSUTARINGUSOCHI
摘要
申请公布号
JPH0240738(B2)
申请公布日期
1990.09.13
申请号
JP19870180387
申请日期
1987.07.20
申请人
TOKUDA SEISAKUSHO
发明人
KONNO NORIHIKO
分类号
C23C14/34;H01L21/203
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
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