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发明名称 THIN FILM FORMATION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02230734(A) 申请公布日期 1990.09.13
申请号 JP19890049920 申请日期 1989.03.03
申请人 NEC CORP 发明人 HOSHINO SHIGEKI
分类号 C23C14/28;H01L21/31;H01L21/316 主分类号 C23C14/28
代理机构 代理人
主权项
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