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发明名称 PROBE BOARD
摘要
申请公布号 JPH02231738(A) 申请公布日期 1990.09.13
申请号 JP19890053097 申请日期 1989.03.06
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 SAKAI HIROYUKI;TETSUKA AKITOSHI
分类号 G01R31/26;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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