发明名称
摘要
申请公布号 DE3723411(C2) 申请公布日期 1990.09.13
申请号 DE19873723411 申请日期 1987.07.15
申请人 TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD., KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 ASAUMI, SHINGO, FUJISAWA, KANAGAWA, JP;KOHARA, HIDEKATSU, CHIGASAKI, KANAGAWA, JP;TANAKA, HATSUYUKI, KANAGAWA, JP;NAKAYAMA, TOSHIMASA, HIRATSUKA, KANAGAWA, JP
分类号 G03C1/72;C08G8/08;G03F7/023;H01L21/027 主分类号 G03C1/72
代理机构 代理人
主权项
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