发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02231730(A) 申请公布日期 1990.09.13
申请号 JP19890051942 申请日期 1989.03.06
申请人 HITACHI LTD;HITACHI VLSI ENG CORP 发明人 FUCHIGAMI NOBUTAKA;MATSUOKA NAOYUKI
分类号 H01L29/812;H01L21/338;H01L29/80 主分类号 H01L29/812
代理机构 代理人
主权项
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