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经营范围
发明名称 MANUFACTURE OF MINUTE PATTERN
摘要
申请公布号 JPH02231720(A) 申请公布日期 1990.09.13
申请号 JP19890052482 申请日期 1989.03.03
申请人 ROHM CO LTD 发明人 HOSONO HITOSHI
分类号 H01L21/306;H01L21/338;H01L29/41;H01L29/812 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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