发明名称 HALBLEITER-ANORDNUNGEN MIT EINER VERGRABENEN HETEROSTRUKTUR.
摘要
申请公布号 DE3579130(D1) 申请公布日期 1990.09.13
申请号 DE19853579130 申请日期 1985.05.16
申请人 AMERICAN TELEPHONE AND TELEGRAPH CO., NEW YORK, N.Y., US 发明人 JOHNSTON, DEXTER, JR., WILBUR, MENDHAM, NJ 07945, US;LONG, ANN, JUDITH, MILLBURN, NJ 07041, US;WILT, PAUL, DANIEL, SCOTCH PLAINS, NJ 07076, US
分类号 H01L21/205;H01L33/00;H01L33/24;H01S5/00;H01S5/223;H01S5/24;(IPC1-7):H01L33/00 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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