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发明名称 THIN FILM FORMING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH02231710(A) 申请公布日期 1990.09.13
申请号 JP19890052593 申请日期 1989.03.03
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 YAMADA HIROSHI
分类号 B01J19/08;H01L21/205;H01L21/31 主分类号 B01J19/08
代理机构 代理人
主权项
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