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发明名称 THIN FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02228471(A) 申请公布日期 1990.09.11
申请号 JP19890050728 申请日期 1989.03.01
申请人 RICOH CO LTD 发明人 SUGAWARA TOMOAKI
分类号 C23C14/34;H01L21/203;H01L21/285 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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