| 发明名称 |
Method of manufacturing a semiconductor device |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US4956312(A) |
申请公布日期 |
1990.09.11 |
| 申请号 |
US19890354001 |
申请日期 |
1989.05.19 |
| 申请人 |
U.S. PHILIPS CORPORATION |
发明人 |
VAN LAARHOVEN, JOSEPHUS M. F. G. |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L21/60;H01L21/768 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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