| 发明名称 |
PROBE FOR SCAN TUNNEL MICROSCOPE AND MAKING METHOD THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02228503(A) |
申请公布日期 |
1990.09.11 |
| 申请号 |
JP19890046631 |
申请日期 |
1989.03.01 |
| 申请人 |
HIKARI GIJUTSU KENKYU KAIHATSU KK |
发明人 |
TANAKA ICHIRO |
| 分类号 |
G01B7/34;G01N23/00;G01Q60/16;H01J37/28 |
主分类号 |
G01B7/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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