SELECTIVE GROWING METHOD BY THERMAL DECOMPOSITION METHOD,申请号JP19890048852-传众专利搜索

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发明名称	SELECTIVE GROWING METHOD BY THERMAL DECOMPOSITION METHOD
摘要
申请公布号	JPH02228025(A)	申请公布日期	1990.09.11
申请号	JP19890048852	申请日期	1989.02.28
申请人	NEC CORP	发明人	SHIMIZU KEIJI
分类号	H01L21/205	主分类号	H01L21/205
代理机构		代理人
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