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发明名称
SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH02228038(A)
申请公布日期
1990.09.11
申请号
JP19890049694
申请日期
1989.02.28
申请人
OGAWA NOBUTAKA
发明人
OGAWA NOBUTAKA
分类号
C23C16/44;C23C16/455;H01L21/31
主分类号
C23C16/44
代理机构
代理人
主权项
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