发明名称 HANDOTAISOCHOKIBANNOSEIZOHOHO
摘要
申请公布号 JPH0240039(B2) 申请公布日期 1990.09.10
申请号 JP19850101922 申请日期 1985.05.14
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 OGURA ATSUSHI;EGAMI KOJI
分类号 C30B1/02;H01L21/265;H01L21/324 主分类号 C30B1/02
代理机构 代理人
主权项
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